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光刻機水冷機組定時保養(yǎng)知識須知

簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機水冷機組定時保養(yǎng)知識須知

  • 產(chǎn)品型號:AES-4535
  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-01-13
  • 訪  問  量:2367
詳情介紹
品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風冷式
價格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
儀器種類一體式應用領域化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉換時間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)(高壓、低壓)
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設備內(nèi)部溫度反饋設備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機法國泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導出
安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;高壓壓力開關,過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風機采用德國EBM軸流風機
水冷型 W帶W型號為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質冷軋板噴塑 (標準顏色7035)
溫度擴展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻機水冷機組定時保養(yǎng)知識須知

光刻機水冷機組定時保養(yǎng)知識須知

  掌握調整蝕刻機冷卻循環(huán)裝置運行功率的方法,企業(yè)運行滿足需求的前提下,控制蝕刻機冷卻循環(huán)裝置的運行功率。控制蝕刻機冷卻循環(huán)裝置處于低效率運行狀態(tài),能夠減少設備消耗的數(shù)量。

  一、用電環(huán)境要好

  想要降低蝕刻機冷卻循環(huán)裝置電量,需要為蝕刻機冷卻循環(huán)裝置提供優(yōu)良的用電環(huán)境。例如用電環(huán)境的電壓比較低,蝕刻機冷卻循環(huán)裝置設備為保持穩(wěn)定的運行效率,必然加大電能的消耗。

  二、設備的運作要提前計劃好

  加入要維護蝕刻機冷卻循環(huán)裝置的和系統(tǒng)的穩(wěn)定,那么要以前做好設備的運作計劃,不論什么設備都要有提前的計劃,如果沒有會使機器滿負荷運載,這就會影響到蝕刻機冷卻循環(huán)裝置運行的。

  三、要定期的保養(yǎng)

  對蝕刻機冷卻循環(huán)裝置進行定期的維護可以保證蝕刻機冷卻循環(huán)裝置的壽命的煙瘴,不論是什么設備只要維護好了,那么設備的效能也會相應的會減少的慢。

  四、四周環(huán)境的影響

  現(xiàn)在的環(huán)境對機器的影響還是比較大的,好的環(huán)境會提供機器的效能,相反則會降低機器的效能,所以好的環(huán)境對機器是有一定的影響的。

  五、冷凝器的溫度

  冷凝溫度的降低會是冷卻效果更好,因為在開始使用的時候,冷卻塔時會有一定的裕量,所以需要加大原有的冷卻塔水,讓冷卻水的效能更好。

  六、配置可調節(jié)線圈

蝕刻機冷卻循環(huán)裝置在運行的時候,如果運行時間較長,能源消耗非常多。可以為蝕刻機冷卻循環(huán)裝置安裝調節(jié)線圈,根據(jù)環(huán)境溫度調整適合的運行功率。

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